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四氟化硅

產品介紹

產品主要作用：用于化學氣相淀積工序;制備氟硅酸及其鹽類

產品中文名：四氟化硅

產品英文名：Silicon Tetrafluoride

化學式：SiF4

CAS號：7783-61-1

UN 號：1859

純度：99.999%

閥門型號：CGA330

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O2

SF6

HCl

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