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氯氣

產品介紹

產品主要作用：用作標準氣、校正氣；用于半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、熱氧化等工序

產品中文名：氯氣

產品英文名：Chlorine

化學式：Cl2

CAS號：75-46-7

UN 號：1017

純度：99.999%

閥門型號：CGA660/DISS634

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八氟環丁烷

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