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洛陽華衍電子材料有限公司

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六氟乙烷

產品介紹

產品主要作用:用于等離子干刻工序

產品中文名:六氟乙烷

產品英文名:Hexafluoroethane

化學式:C2F6

CAS號:76-16-4

UN 號:2193

純度:99.999%

閥門型號:CGA660/DISS716


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