氬氣
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品主要作用：用作標(biāo)準(zhǔn)氣、零點(diǎn)氣、平衡氣；用于半導(dǎo)體器件制備工藝中晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、氮化、噴射、等離子干刻、載流、退火、搭接、燒結(jié)等工序；特種混合氣與工業(yè)混合氣也使用氫
產(chǎn)品中文名：氬氣
產(chǎn)品英文名：Argon
化學(xué)式：Ar
CAS號：7440-37-1
UN 號：1006
純度：99.999% 和99.9999%
閥門型號：CGA580/CGA350
